バンプ付プローブ基板

特徴

  • 当社特許による転写法を用いたバンプ・パターン一体形成により微細ピッチと耐久性を両立

用途

  • フルコンタクト用点灯検査装置向けプローブ
  • 全点灯検査装置向けプローブ
  • LSI素子検査用プローブなど

構造例

構造例

仕様

単位:μm
項目 HBC(リジッドタイプ) TFPC(フレキタイプ)
基材 ガラエポ材 ポリイミド
ピッチ >20 >20
導体幅 >10 >10
コンタクト部 バンプ バンプ
コンタクト性
耐久性
寸法精度

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